-前言-

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

Technical standard for specialty gas system engineering

GB 50646-2020

主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：2020年10月1日

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

2020年 第59號

住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)(特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》為國家標(biāo)準(zhǔn),編號為GB 50646-2020,自2020年10月1日起實施。其中,第3.1.5(1、2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6（1）,9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2條（款）為強制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國家標(biāo)準(zhǔn)(特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646-2011 同時廢止。

本標(biāo)準(zhǔn)在住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部門戶網(wǎng)站( www. mohurd. gov. cn）公開,并由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2020年2月27日

根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)(2017年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)制訂、修訂及相關(guān)工作計劃>的通知建標(biāo)[2016]248號)的要求，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司和中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成。

本標(biāo)準(zhǔn)在編制過程中，編制組根據(jù)我國特種氣體系統(tǒng)各類站房的設(shè)計、建造和運行的實際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，同時考慮我國特種氣體的技術(shù)來源情況，對國外的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了研讀，并在全國范圍內(nèi)廣泛向有關(guān)單位或個人征求意見的基礎(chǔ)上，修改、完善標(biāo)準(zhǔn)，最后經(jīng)審查定稿。

本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容是:總則、術(shù)語、特種氣體站房、特種氣體工藝系統(tǒng)、生命安全系統(tǒng)、特種氣體管道輸送系統(tǒng)、建筑結(jié)構(gòu)、電氣與防雷、公用工程、特種氣體系統(tǒng)工程施工、特種氣體系統(tǒng)工程驗收等。

本標(biāo)準(zhǔn)修訂的主要技術(shù)內(nèi)容是1.取消規(guī)范中的第5章“硅烷站”的設(shè)置，根據(jù)其專業(yè)內(nèi)容分別并入第3章至第9章的相關(guān)章節(jié)。

2.合并規(guī)范中的第10章“給水排水及消防”和第11章“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)”，合并后為新標(biāo)準(zhǔn)的第9章“公用工程”。

3.根據(jù)我國工程建設(shè)的實際情況及國外相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容，修改了第3章“特種氣體站房”的部分內(nèi)容。

4.將第11章“特種氣體系統(tǒng)驗收”的部分內(nèi)容納入該章節(jié)的條文說明。

本標(biāo)準(zhǔn)中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本標(biāo)準(zhǔn)由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的過程中，請各單位結(jié)合工程實踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補充之處，請將意見和有關(guān)資料寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司(地址:四川成都市雙林路251號；郵編:610021;傳真:028-84333172;E-mail:edrill @ edri.cn)，以供今后修訂時參考。

本標(biāo)準(zhǔn)主編單位:信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司

中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

本標(biāo)準(zhǔn)參編單位:上海正帆科技股份有限公司

中國電子工程設(shè)計院有限公司

工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

液化空氣(中國)投資有限公司

咸陽彩虹光電科技有限公司

成都愛德工程有限公司

中國電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人員:李驥 吳軍 閆詩源 薛長立 黃勇 李東升 江元升 歐華星 夏雙兵 陸崎 張家紅 王凌旭 宋燕 錢春健 朱梅君 薛首文 毛冬凱 胡天碧 王鵬亮 顧愛軍

本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人員:鄭秉孝 侯文川 崔永祥 劉小嬌 薛東升 姜劍鋒 周禮譽 張志輝 孫效義

-1 總則-

1.0.1 為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計、施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，確保人身和財產(chǎn)安全、做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)、保護(hù)環(huán)境、節(jié)約能源、經(jīng)濟(jì)合理，制定本標(biāo)準(zhǔn)。

1.0.2 本標(biāo)準(zhǔn)適用于新建、改建、擴建的電子工業(yè)的特種氣體系統(tǒng)工程中的設(shè)計、施工和驗收。

1.0.3 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于特種氣體的制取、提純、灌裝等生產(chǎn)及配套裝置的工程設(shè)計、施工和驗收。

1.0.4 特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計、施工及驗收除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

-2 術(shù)語-

2.0.1 特種氣體 specialty gas

電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。

2.0.2 自燃性氣體 pyrophoric gas

也稱作發(fā)火氣體，是指在空氣中等于或低于 54°C時可能自燃的易燃?xì)怏w。

2.0.3 易燃性氣體 flammable gas

-種在 20℃和標(biāo)準(zhǔn)壓力101.3kPa狀態(tài)時空氣混合有-定易燃范圍的氣體。

2.0.4 劇毒性氣體 highly toxic gas

半致死濃度(空氣中吸入4h)小于或等于100mL/m3的氣體。

2.0.5 毒性氣體 toxic gas

半致死濃度(空氣中吸入4h)大于100mL/m3但不超過2500mL/m3的氣體。

2.0.6 腐蝕性氣體 corrosive gas

對材料或人體組織通過接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆變化的氣體。

2.0.7 氧化性氣體 oxidizing gas

-般通過提供氧氣，比空氣更能導(dǎo)致和促使其他物質(zhì)燃燒的任何氣體。

2.0.8 惰性氣體 inert gas

在-般情況下不會與其他物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。

2.0.9 低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas

在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa 的氣體。

2.0.10 特種氣體系統(tǒng) specialty gas system

特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和附件的總稱。

2.0.11 大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system

是指包括ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長管拖車、鋼瓶集裝格、Y型臥式鋼瓶，或總的水容積超過 250L的硅烷系統(tǒng)。

2.0.12 大宗特種氣體系統(tǒng) bulk specialty gas system

-般指單個氣體設(shè)備容積大于400L的特種氣體儲存和送氣系統(tǒng)。

2.0.13 液態(tài)特種氣體系統(tǒng) liquid specialty gas system

是指以液態(tài)輸送、分配，在用戶終端進(jìn)行汽化的特種氣體系統(tǒng)。

2.0.14 氣體探測系統(tǒng) gas detector system(GDS)

設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤及其他特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的濃度來判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報警信號、提供探測數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。

2.0.15 氣體管理系統(tǒng) gas management system(GMS）

包含特種氣體探測系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)傳輸與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱。

2.0.16 生產(chǎn)區(qū) fabrication area

電子生產(chǎn)廠房內(nèi)布置生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的研發(fā)、測試的區(qū)域，有些生產(chǎn)過程將使用危險性生產(chǎn)材料，該區(qū)域為生產(chǎn)廠房的核心區(qū)域。

2.0.17 特種氣體間 specialty gas room

電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格、尾氣處理裝置等氣體設(shè)備，并通過管道向生產(chǎn)設(shè)備輸送特種氣體的房間。

2.0.18 特種氣體站 specialty gas station

電子工廠放置臥式氣瓶、氣瓶集裝格、IS0標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長管拖車、尾氣處理裝置等氣體設(shè)備，并通過管道向用生產(chǎn)廠房氣設(shè)備輸送特種氣體的獨立建(構(gòu))筑物。

2.0.19 特種氣體站房 specialty gas station and room

是指在電子工廠特種氣體間與特種氣體站的統(tǒng)稱。

2.0.20 硅烷站 silane station

是指放置硅烷或硅烷混合氣體鋼瓶、鋼瓶集裝格、臥式鋼瓶、長管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、硅烷氣化裝置、尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨立建(構(gòu))筑物或區(qū)域。

2.0.21 氣瓶集裝格the bundle of gas cylinders用專用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。

2.0.22 ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組 ISO module

采用集氣管將氣體鋼瓶、長管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并安裝在專用金屬框架上的組合集裝模塊。

2.0.23 氣瓶柜 gas cabinet(GC)

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備。

2.0.24 氣瓶架 gas rack(GR)

特種氣體使用的開放式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備。

2.0.25 閥門箱 valve manifold box(VMB）

特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配箱體，用于向-個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體。

2.0.26 閥門盤 valve manifold panel(VMP)

特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置，用于向-個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體。

2.0.27 尾氣處理裝置 local scrubber

自燃性、易燃性、劇毒性、腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的現(xiàn)場處理裝置，處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車間的排氣管道。

2.0.28 臥式氣瓶 horizontal cylinder

用于儲存較多特種氣體的氣瓶。-般水容積為450L、950L。

2.0.29 限流孔板 restrict flow orifice（RFO)

限定流體系統(tǒng)最大流量的-種裝置。

2.0.30 過流開關(guān) excess flow switch(EFS)

流體系統(tǒng)的流量超出設(shè)定值時，給出開關(guān)信號。

2.0.31 負(fù)壓氣源 sub-atmospheric gas source(SAGS)

1型:在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下，鋼瓶內(nèi)和閥門出口均為負(fù)壓的氣源。

2型:在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下，鋼瓶內(nèi)為正壓，閥門出口為負(fù)壓的氣源。

2.0.32 不相容性 incompatible

不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。

2.0.33 吹掃 purge

用氮氣或惰性氣體對特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的本質(zhì)氣體或工作氣體進(jìn)行置換的過程。

2.0.34 排氣 vent

特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體或工作氣體。

2.0.35 氣體面板 gas panel

集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計等零部件的專用設(shè)施。

2.0.36 半致死濃度 lethal concentration 50(LC50)

在空氣中使健康的成年大白鼠連續(xù)吸入1h，能引起受試白鼠在14d內(nèi)死亡-半的氣體的濃度。

2.0.37 爆炸濃度下限值 low explosion limit(LEL)

易燃性氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。

2.0.38 最高允許濃度值threshold limit value(TLV)

毒性氣體在空氣中的濃度小于該值時，充分且持續(xù)暴露于該環(huán)境中的作用人員的健康不會受到損害。

2.0.39 最高允許濃度值-時間加權(quán)平均允許濃度 limit value- time weighted average(TLV-TWA)threshold

作業(yè)人員按每天8h，每周5d工作制工作，健康不會受到損害的毒性氣體時間加權(quán)平均濃度。

-3 特種氣體站房-

3.1 一般規(guī)定

3.1.1 特種氣體站房應(yīng)布置在獨立的建(構(gòu))筑物或生產(chǎn)廠房的特種氣體間內(nèi)。

3.1.2 布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格等向生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)特種氣體。

3.1.3 布置在單獨建(構(gòu))筑物的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長管拖車等向生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)特種氣體。

3.1.4 布置在生產(chǎn)區(qū)的特種氣體設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體的最大允許使用儲存量應(yīng)符合表3.1.4的規(guī)定；

2 特種氣體應(yīng)設(shè)置氣瓶柜、排風(fēng)裝置；

3 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置自動消防噴淋系統(tǒng)，并應(yīng)用防火隔墻與其他區(qū)域相互隔離；當(dāng)特種氣體的使用儲存量超過表3.1.4規(guī)定的數(shù)量時，應(yīng)設(shè)置特種氣體間。

表3.1.4 生產(chǎn)廠房生產(chǎn)區(qū)最大允許使用儲存量

注：氣體總量為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量。

3.1.5特種氣體間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，并應(yīng)按負(fù)壓設(shè)計；

2 特種氣體間應(yīng)采用防火隔墻相互隔離；

3 特種氣體間的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

3.1.6 當(dāng)生產(chǎn)廠房內(nèi)的自燃性特種氣體的儲存量超過57m3時，應(yīng)設(shè)置獨立的特種氣體站。

3.1.7 生產(chǎn)廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)的低蒸汽壓力特種氣體設(shè)備宜靠近生產(chǎn)設(shè)備布置。

3.1.8 特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓或其他輔助樓層，位置宜靠外墻。

3.1.9 特種氣體間的附近區(qū)域宜布置貨運通道、貨運電梯等運輸設(shè)施。

3.2 特種氣體站房布置

3.2.1 特種氣體應(yīng)根據(jù)其物理化學(xué)性能及安全特性進(jìn)行分類和工程設(shè)計。

3.2.2特種氣體站房的生產(chǎn)的火災(zāi)危險性類別應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

3.2.3 生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為易燃性氣體間、毒性(腐蝕性)氣體間、惰性(氧化性)氣體間、劇毒性氣體間等。

3.2.4 獨立的特種氣體站根據(jù)氣體種類、兼容性等因索應(yīng)分為不同種類的特種氣體間。

3.2.5 大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨立的開敞式建筑，不得布置在地下室。開敞式建筑應(yīng)帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面，且墻體與墻體之間、墻體與屋頂結(jié)構(gòu)之間應(yīng)設(shè)置自然通風(fēng)的空間。硅烷容器與四周障礙物的最小距離小于障礙物高度的2倍時，大宗硅烷系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置機械通風(fēng)。

3.2.6 硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤之間的距離小于9m時，應(yīng)設(shè)置 2h以上的防火隔斷。

3.2.7 硅烷氣瓶柜內(nèi)的硅烷鋼瓶應(yīng)固定在鋼架上，兩個鋼瓶之間應(yīng)采用鋼板隔離，鋼板厚度應(yīng)大于或等于6mm。

3.2.8 非大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備可放置在室內(nèi)，不得建在地下室。

3.2.9 布置在開敞式建筑中的大宗硅烷站應(yīng)在設(shè)備區(qū)域設(shè)置防雨防曬措施。

3.3 特種氣體設(shè)備布置

3.3.1 不相容特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里；當(dāng)布置在同一房間時，氣瓶架之間的距離應(yīng)大于6m。

3.3.2 同時具有易燃性和毒性氣體的設(shè)備應(yīng)放在易燃性氣體間。

3.3.3 特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等設(shè)備宜靠墻布置，具有相同或相近性質(zhì)的氣體設(shè)備應(yīng)布置在一起。

3.3.4 特種氣體間的中間通道寬度不得小于2m，特種氣體設(shè)備的布置應(yīng)預(yù)留滿足設(shè)備運輸、維修與操作、安全逃生的空間。

3.3.5 液化特種氣體設(shè)備和系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)其氣體特性設(shè)置加熱裝置。

3.3.6 液化特種氣體設(shè)備應(yīng)設(shè)置不同種類的磅秤裝置。

3.3.7 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)配置專用容器或堵漏工具、排風(fēng)裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態(tài)下的排風(fēng)處理裝置。

3.3.8 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)設(shè)置雙鎖安全門、防盜窗和防止人員入侵的技術(shù)防范設(shè)施。

3.3.9 特種氣體站房內(nèi)特種氣體生產(chǎn)儲量達(dá)到重大危險源的數(shù)量時，設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《危險化學(xué)品重大危險源辨識》GB18218的有關(guān)規(guī)定。

3.3.10 特種氣體系統(tǒng)的電氣控制室的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 電氣控制室應(yīng)布置在與特種氣體間相鄰的控制室內(nèi)；

2 電氣控制室應(yīng)以耐火極限不小于3.0h的隔墻和不低于1.50h的樓板與特種氣體間隔開，穿越隔墻的管道孔隙應(yīng)以防火材料填堵。

-4 特種氣體工藝系統(tǒng)-

4.1 一般規(guī)定

4.1.1 特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置：

1 儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格、臥式氣瓶、長管拖車；

2 氣體分配用閥門箱、閥門盤；

3 輔助氮氣吹掃系統(tǒng)；

4 尾氣處理裝置。

4.1.2 特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體工藝參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。

4.1.3 不相容的特種氣體的排氣管道不得接人同一排氣系統(tǒng)。

4.1.4 不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。

4.2 特種氣體輸送系統(tǒng)

4.2.1 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置；

2 不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

3 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板；

4 系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實；

5 氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h；

6 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器；

7 氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并應(yīng)有防腐蝕涂層；

8 氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能，并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求；

9 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌；

10 當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境時，其設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)(爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058 的有關(guān)規(guī)定。

4.2.2 特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門，并應(yīng)為常閉氣動閥門，位置應(yīng)靠近氣瓶；

2 氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān)；

3 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應(yīng)設(shè)止回閥；

4 氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。

4.2.3 可燃和自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 當(dāng)硅烷氣瓶使用直徑0.25mm限流孔時，氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/h，當(dāng)使用直徑0.15mm 限流孔時，氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于400次/h，且氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控；

2 白燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測器；

3 易燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4 自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

4.2.4 大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置獨立氣瓶儲罐或長管拖車等的壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮氣單元、電氣控制柜等裝置；

2 大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.1條的有關(guān)規(guī)定；

3 液態(tài)氣體瓶應(yīng)設(shè)計鋼瓶加熱與保溫裝置；

4 減壓降溫效應(yīng)顯著的氣體，應(yīng)在減壓前對氣體進(jìn)行預(yù)熱。

4.2.5 液態(tài)特種氣體系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置獨立的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、驅(qū)動氣體單元、吹掃氮氣單元、電氣控制柜、重量計量等裝置；

2 液態(tài)特種氣體系統(tǒng)宜利用驅(qū)動氣體壓力將液態(tài)特種氣體從槽罐輸送至液態(tài)特種氣體柜，或從液態(tài)特種氣體柜直接驅(qū)動輸送至用氣工藝設(shè)備，液態(tài)特種氣體亦可采用泵送；

3 用氣點應(yīng)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液態(tài)特種氣體鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備；

4 液態(tài)特種氣瓶柜功能設(shè)置應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.1條的有關(guān)規(guī)定；

5 具有自燃性和遇水反應(yīng)性的金屬有機物前驅(qū)體液體，供應(yīng)柜應(yīng)設(shè)置相應(yīng)滅火系統(tǒng)；底部應(yīng)設(shè)置收集槽，并應(yīng)放置吸附材料。

4.2.6 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的閥門箱設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置；

2 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；

3 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨立的出口隔離閥；

4 氣體分支路應(yīng)設(shè)置獨立的吹掃氣體裝置。

4.2.7 惰性及氧化性特種氣體系統(tǒng)的閥門盤設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)有進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置：

2 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器；

3 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨立出口隔離閥門。

4.2.8 負(fù)壓氣源特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合負(fù)壓氣源特種氣體的特性。

4.3 吹掃和排氣系統(tǒng)

4.3.1 特種氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨立的氣源連接，不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連；

2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源；

3 吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥。

4.3.2 吹掃氮氣的氣體面板應(yīng)設(shè)有壓力調(diào)節(jié)閥、排氣管、高低壓截止閥、高低壓壓力指示裝置、安全閥。

4.3.3 特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 真空發(fā)生器宜采用氮氣作為引射氣源；

2 抽真空用氮氣可由公用普通氮氣供給；自燃性和腐蝕性氣體，氮氣供應(yīng)管道應(yīng)設(shè)置止回閥和微漏閥。

4.3.4 特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃裝置；

2 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體的排空氣體應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置處理，處理后的氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國家廢氣排放要求。

4.3.5 特種氣體尾氣處理裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 尾氣處理裝置的類型，應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置；

2 尾氣處理裝置應(yīng)靠近特種氣體柜、氣瓶架等特種氣體設(shè)備布置；

3 特種氣體的尾氣處理方法宜采用干式吸附、濕式洗滌、加熱分解、燃燒、等離子分解、稀釋及以上幾種處理方式的組合。

4.4 硅烷工藝系統(tǒng)

4.4.1 硅烷工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)根據(jù)下列因素確定：

1 硅烷站的規(guī)模；

2 硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)；

3 當(dāng)?shù)毓柰楣?yīng)的充裝、運輸狀況；

4 用戶對硅烷純度、壓力和負(fù)荷變化的要求。

4.4.2 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有硅烷容器、氣體面板、閥門箱及連接管道。

4.4.3 硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過濾、吹掃、排氣、安全控制的功能。

4.4.4 硅烷系統(tǒng)必須采用獨立的惰性氣源進(jìn)行吹掃。

4.4.5 硅烷閥門箱設(shè)置除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.6條的規(guī)定外，還應(yīng)配置惰性氣體吹掃裝置、氣體泄漏探測器和紫外紅外火焰探測器。

4.4.6 硅烷系統(tǒng)的排氣裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)；

2 排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。

4.4.7 硅烷連接管道鋼瓶側(cè)應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥，硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕，至少有一個手動緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4.6m。

4.4.8 硅烷系統(tǒng)閥門、附件的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬材質(zhì)的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥；

2 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)流量配置不同直徑的限流孔板：

3 硅烷系統(tǒng)應(yīng)配置過流開關(guān)、緊急切斷閥，調(diào)壓閥的加熱裝置應(yīng)根據(jù)流量核算確定。

-5 生命安全系統(tǒng)-

5.1 特種氣體管理系統(tǒng)

5.1.1 應(yīng)用多種特種氣體的生產(chǎn)廠房宜設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)配置特種氣體的連續(xù)檢測、指示、報警的功能，并應(yīng)能記錄、存儲和打??；

2 特種氣體管理系統(tǒng)宜為獨立的系統(tǒng)，應(yīng)具有特種氣體探測、應(yīng)急處理、工作管理、監(jiān)視、數(shù)據(jù)傳輸與處理的功能；

3 特種氣體管理系統(tǒng)宜與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報警控制系統(tǒng)通過數(shù)據(jù)總線相連。

5.1.2 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在全廠動力控制中心，在消防控制室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)特種氣體報警顯示單元和集中應(yīng)急閥門切斷控制盤。

5.1.3 特種氣體氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的可編程控制器的通信接口應(yīng)與氣體管理系統(tǒng)連接。

5.2 特種氣體探測系統(tǒng)

5.2.1 儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置特種氣體探測裝置：

1 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)管口處；

2 生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風(fēng)管口處，工藝設(shè)備的排風(fēng)管口處；

3 生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處；

4 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；

5 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設(shè)備間；

6 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

5.2.2 易燃性、自燃性特種氣體探測系統(tǒng)、有毒氣體檢測裝置應(yīng)設(shè)置一級報警或二級報警。

5.2.3 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測裝置報警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性氣體的一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值；

2 劇毒性、毒性氣體的一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于 50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)，二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)；

3 設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設(shè)定值不應(yīng)小于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設(shè)定值不應(yīng)小于18%氧氣體積濃度(V/V)；

4 二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測器，其報警設(shè)定值應(yīng)為5000ppm。

5.2.4 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測裝置的檢測報警響應(yīng)時間應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性氣體檢測報警采用擴散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于 15s；

2 劇毒性、毒性氣體檢測報警采用擴散式應(yīng)小于40s，吸入式應(yīng)小于20s；

3 氧氣檢測報警采用擴散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于15s。

5.2.5 當(dāng)特種氣體相對密度小于或等于0.75時，特種氣體探測器應(yīng)同時設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點易積氣處。當(dāng)特種氣體相對密度大于0.75 時，特氣體探測器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處。

5.2.6 硅烷排風(fēng)管道的氣體探測器的報警設(shè)定值，應(yīng)小于或等于50ppm，并應(yīng)與硅烷氣源的自動切斷閥聯(lián)鎖；硅烷站環(huán)境氣體探測器的報警設(shè)定值應(yīng)小于或等于5ppm，環(huán)境氣體探測器報警時，硅烷控制系統(tǒng)不應(yīng)自動切斷硅烷輸送管路。

5.2.7 有機金屬前軀體材料應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的偵測及火災(zāi)報警裝置，當(dāng)無對應(yīng)偵測器時，應(yīng)根據(jù)其分解物選擇偵測器。

5.3 其他安全設(shè)施

5.3.1 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體的儲存、分配及使用場所的安全設(shè)施應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置數(shù)字式視頻監(jiān)控攝像機和門禁；

2 生產(chǎn)廠房入口處、氣瓶柜間入口處、潔凈室內(nèi)宜設(shè)置安全管理顯示屏；

3 使用場所內(nèi)及相關(guān)建筑主入口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃爍報警裝置，燈光顏色應(yīng)與其他燈光報警裝置相區(qū)別；

4 入口處應(yīng)設(shè)緊急手動按鈕，應(yīng)急處理中心室也應(yīng)設(shè)緊急手動按鈕；

5 用于自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體的儲存、分配及使用場所的監(jiān)控視頻圖像宜預(yù)留通過網(wǎng)絡(luò)接入政府安全監(jiān)督、管理部門的接口，且監(jiān)控視頻圖像存儲時間不應(yīng)低于30d。

5.3.2 在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車間宜設(shè)置地震探測裝置，地震探測信號應(yīng)與特種氣體探測系統(tǒng)相連。

5.3.3 特種氣體站房內(nèi)應(yīng)在氣瓶柜的基座上設(shè)置一臺地震探測裝置，并應(yīng)以氣體站房為基準(zhǔn)點，等距離三角形延伸廠區(qū)內(nèi)另外兩點設(shè)置地震探測裝置。地震探測裝置不得設(shè)置于人員進(jìn)出頻繁的地點，并應(yīng)避免受外力干擾而造成誤動作。

5.3.4 封閉的自燃性、易燃性氣體的特種氣體間宜設(shè)置防爆紫外、紅外火焰探測器。

5.3.5 特種氣體站房應(yīng)配置防毒面具、自給式呼吸器等安全防護(hù)設(shè)施。

5.3.6 特種氣體站房屋頂最高點處應(yīng)設(shè)置明顯的風(fēng)向標(biāo)。

5.4 特種氣體報警的聯(lián)動控制

5.4.1 特種氣體探測系統(tǒng)在確認(rèn)氣體泄漏時，應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并應(yīng)接受反饋信號，特種氣體站房的事故通風(fēng)裝置應(yīng)與其氣體泄漏和氣體切斷信號聯(lián)鎖。

5.4.2 特種氣體探測系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時，應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置，該聲光報警應(yīng)有別于火災(zāi)報警裝置，并應(yīng)自動啟動應(yīng)急廣播系統(tǒng)。

5.4.3 特種氣體探測系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁，可聯(lián)動閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，應(yīng)啟動相應(yīng)區(qū)域的攝像機，并應(yīng)自動錄像。

5.4.4 地震探測裝置探測到里氏5級以上地震，且兩臺地震探測裝置同時報警時，特種氣體管理系統(tǒng)確認(rèn)收到的信號后，應(yīng)啟動現(xiàn)場的聲光報警裝置;同時，應(yīng)關(guān)閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的切斷閥門。

5.4.5 室外大宗硅烷系統(tǒng)的鋼瓶區(qū)域內(nèi)必須設(shè)置紫外、紅外火焰探測器；室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用火焰探測器或感溫探測器。

-6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)-

6.1 一般規(guī)定

6.1.1 特種氣體管道輸送系統(tǒng)應(yīng)包括特種氣體儲存、分配管道系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道以及管件、閥門、過濾器、減壓裝置、壓力釋放裝置、壓力監(jiān)測裝置等部件。

6.1.2 生產(chǎn)廠房內(nèi)特種氣體管道的主干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);當(dāng)與水電管線共架時，特種氣體的管道宜設(shè)在水、電管線上部。

6.1.3 生產(chǎn)廠 房潔凈室內(nèi)的自燃性、易燃性和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，并應(yīng)采用焊接。

6.1.4 特種氣體穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁 與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體管道的機械連接處，應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

6.1.5 自燃性、易燃性、毒性特種氣體管道應(yīng)避免穿過不使用此類氣體的房間，當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管。

6.1.6 特種氣體管道不宜出現(xiàn)盲管及U形彎等死區(qū)。

6.1.7 易燃性、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置防靜電接地。

6.1.8 室外布 置的特種氣體管道宜架空布置。

6.2 材料選型

6.2.1 特種氣體管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

6.2.2 腐蝕性氣體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或鎳基合金材料的無縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

6.2.3 特種氣體閥門的密封座材質(zhì)應(yīng)與氣體性質(zhì)匹配。

6.2.4 雙層管的外層管道宜采用不銹鋼管道，內(nèi)層管道應(yīng)按所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配。

6.2.5 特種氣體系統(tǒng)的排氣、尾氣真空管道宜采用普通不銹鋼管道，并應(yīng)經(jīng)過脫脂處理。

6.2.6 氧化性氣體系統(tǒng)應(yīng)采用專用禁油閥門、附件和管材，并應(yīng)進(jìn)行脫脂處理。

6.3 管道設(shè)計

6.3.1 特種氣體管道的設(shè)計應(yīng)根據(jù)輸送流體的特性參數(shù)，并結(jié)合管道布置、環(huán)境等進(jìn)行，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。

6.3.2 特種氣體管道的設(shè)計應(yīng)符合用氣設(shè)備對流量、壓力的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《化工裝置工藝系統(tǒng)工程設(shè)計技術(shù)規(guī)定》HG/T 20570的有關(guān)規(guī)定。

6.3.3 管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《流體輸送用不銹鋼無縫鋼管》GB/T 14976的有關(guān)規(guī)定。

6.3.4 液態(tài)特種氣體水平管道的坡度不應(yīng)小于0.3%，坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器。

6.3.5 具有自燃性、劇毒性、強腐蝕性的特種氣體，宜采用雙套管設(shè)計。

6.3.6 低蒸汽壓特種氣體的管道應(yīng)設(shè)置伴熱和保溫措施，加熱溫度不宜超過50℃。

6.3.7 特種氣體管道宜采用全自動軌道焊接。閥件或管件連接處應(yīng)采用徑向面密封連接，不宜采用螺紋或法蘭連接。

6.3.8 特種氣體閥門應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥。

6.3.9 特種氣體管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼或鎳墊片，墊片的材質(zhì)與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)相容。

6.3.10 特種氣體輸送系統(tǒng)易產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝過濾器。

6.4 管道標(biāo)識

6.4.1 特種氣體管道應(yīng)進(jìn)行管道標(biāo)識。

6.4.2 特種氣體管道應(yīng)以不同顏色、字體等標(biāo)識氣體名稱、主要危險特性和流向，并應(yīng)符合表6.4.2的規(guī)定。

表6.4.2 特種氣體管路標(biāo)識要求

6.4.3 管道標(biāo)識的描述、順序和間距可根據(jù)實際情況進(jìn)行調(diào)整，描述宜為內(nèi)容物化學(xué)分子式、中文名、主要危險特性、流動方向(圖6.4.3)。

圖6.4.3 管道標(biāo)識

6.4.4 標(biāo)識的尺寸應(yīng)按管徑確定，并應(yīng)符合表6.4.4的規(guī)定，標(biāo)識較長時，可根據(jù)實際需要增加標(biāo)識長度。

表6.4.4 標(biāo)識尺寸與管徑的對照

6.4.5 管道上粘貼標(biāo)識應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 管道內(nèi)徑小于或等于100mm的水平直管道，以人員視線為基準(zhǔn)方位，應(yīng)每隔3m粘貼一張；管道內(nèi)徑大于100mm 的水平管道，以人員視線為基準(zhǔn)方位，應(yīng)每隔6m粘貼一張；

2 管道內(nèi)徑小于或等于100mm的垂直管道，應(yīng)每隔 2m粘貼一張，并應(yīng)以地面向上150cm 處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；管道內(nèi)徑大于100mm的垂直管道，應(yīng)每隔4m粘貼一張，并應(yīng)以地面向上150cm處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；

3 管道閥件、彎頭的連接處，工藝設(shè)備與管道的連接處，以及管道穿越墻、壁、樓板的兩側(cè)部分都應(yīng)各粘貼一張；標(biāo)識粘貼應(yīng)整齊、牢固，水平管道的標(biāo)識中心應(yīng)相互對齊，垂直管道的標(biāo)識上邊緣應(yīng)對齊。

-7 建筑結(jié)構(gòu)-

7.1 一般規(guī)定

7.1.1 特種氣體站的平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體站應(yīng)布置在輔助生產(chǎn)區(qū)，且遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花的地點；

2 特種氣體站不得布置在人員密集地段和主要交通要道臨近處；

3 特種氣體站的設(shè)置應(yīng)方便運輸車輛和消防車輛的進(jìn)出；

4 特種氣體站的儲存、分配區(qū)域應(yīng)設(shè)有防止車輛撞擊的保護(hù)措施；

5 大宗硅烷站宜設(shè)置不燃燒體的實體圍墻，其高度不應(yīng)小于2.0m。

7.1.2 有爆炸危險的特種氣體站房的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。鋼框架、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防火保護(hù)措施，腐蝕性特種氣體間的鋼結(jié)構(gòu)、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防腐蝕保護(hù)措施。

7.1.3 有爆炸危險的特種氣體站房間應(yīng)設(shè)置泄壓設(shè)施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7.2 建筑防火

7.2.1 甲類特種氣體站與工廠建(構(gòu))筑物的防火間距，不得小于表7.2.1的規(guī)定。

表7.2.1 甲類特種氣體站與工廠建(構(gòu))筑物的防火間距(m)

注：1 防火間距應(yīng)按相鄰建(構(gòu))筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝格外緣的最近距離計算。

2 甲類特種氣體站與甲類倉庫之間的防火間距，當(dāng)?shù)?、4項物品使用儲量不大于2t，第12、5.6項物品使用儲量不大于5t時，不應(yīng)小于12m。

7.2.2 布置于生產(chǎn)廠房的甲、乙類特種氣體間的耐火等級不應(yīng)低于二級，結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7.2.3 特種氣體站內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。

7.2.4 有爆炸危險的特種氣體間與無爆炸危險房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于4.00h的不燃燒體防爆墻分隔，防爆墻上不應(yīng)開設(shè)門窗洞口；設(shè)置雙門斗相通時，門應(yīng)錯位布置，門應(yīng)為甲級防火門。

7.2.5 特種氣體站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在獨立的房間內(nèi)：與硅烷氣瓶間等有爆炸危險的房間相鄰時，相鄰的隔墻不得有門窗、洞口，隔墻的耐火極限不得低于3.00h。

7.2.6 當(dāng)自燃性、易燃性特種氣體管道穿越防火隔斷時，應(yīng)采用不燃材料將管道與防火隔斷之間的縫隙填實封堵，封堵材料的耐火等級與防火隔斷應(yīng)相同。

7.2.7 有爆炸危險的特種氣體房間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 安全出口不應(yīng)少于2個，并應(yīng)分散布置；

2 相鄰2個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m，其中1個應(yīng)直通室外；爆炸危險的特種氣體房間通向疏散走道處應(yīng)設(shè)置門斗等防護(hù)措施，門斗隔墻為耐火極限不應(yīng)低于2.00h 防火隔墻，門應(yīng)采用甲級防火門；

3 爆炸危險特種氣體的房間面積小于或等于100m2且同一時間的生產(chǎn)人數(shù)不超過5人時，可設(shè)置一個直接通往室外的出口。

7.2.8 毒性、腐蝕性、惰性氣體間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 安全出口不應(yīng)少于2個，并應(yīng)分散布置；

2 相鄰2個安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m，其中1個應(yīng)直通室外；毒性、腐蝕性、惰性氣體間通向疏散走道的門應(yīng)為乙級防火門；

3 毒性、腐蝕性、惰性氣體間的面積小于或等于150m2，且同一時間的作業(yè)人員不超過10人時，可設(shè)置一個直接通往室外的出口。

7.2.9 硅烷站安全出口的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷站的建筑面積大于或等于19m2時，不得少于兩個安全出口；建筑面積小于19m2時，不得少于一個安全出口；

2 硅烷站內(nèi)任何地點到最近安全出口的距離不得大于23m。

7.3 建筑構(gòu)造措施

7.3.1 特種氣體站房凈高度宜大于4.5m，并應(yīng)滿足設(shè)備與管道布置的要求;對于一些比空氣輕的氣體、混合氣體，可采用坡屋頂，并應(yīng)在屋頂最高處保持通風(fēng)良好。

7.3.2 特種氣體房間的疏散門應(yīng)采用平開門，并應(yīng)向疏散方向開啟，疏散門應(yīng)采用快開式推桿鎖，不得采用其他形式的鎖具。有爆炸危險房間的門窗應(yīng)采用撞擊時不產(chǎn)生火花的材料制作。

7.3.3 易燃性特種氣體相對密度小于或等于0.75時，特種氣體間上部應(yīng)采取防止氣體集聚的措施。

7.3.4 易燃性種氣體相對密度大于0.75時，特種氣體間應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 應(yīng)采用不產(chǎn)生火花的地面，并應(yīng)平整、耐磨、防滑；

2 采用絕緣材料作整體面層時，應(yīng)采取防靜電措施。

-8 電氣與防雷-

8.1 配電與照明

8.1.1 特種氣體站房的電力負(fù)荷分級應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體站房除檢修插座電源外不應(yīng)低于二級負(fù)荷；

2 氣體管理與氣體探測系統(tǒng)應(yīng)配置不間斷電源(UPS)。

8.1.2 特種氣體站房中的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)電氣設(shè)備選擇不應(yīng)低于2區(qū)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

8.1.3 特種氣體站房的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照明。

8.2 防雷與接地

8.2.1 特種氣體站的防雷分類不應(yīng)低于第二類防雷建筑物，并應(yīng)采取防直擊雷、防雷電感應(yīng)和防閃電電涌侵人的措施。

8.2.2 排放爆炸危險氣體或蒸氣的放散管、風(fēng)管等物體的防雷應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)(《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057中第一類防雷建筑物的防雷措施中對管口保護(hù)范圍的有關(guān)規(guī)定;突出屋面的排放無爆炸危險氣體或蒸氣的放散管、風(fēng)管，以及裝有阻火器的放散管、排風(fēng)管的防雷應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB50057中第二類防雷建筑物的防雷措施中的有關(guān)規(guī)定。

8.2.3 特種氣體管道在進(jìn)出建筑物處應(yīng)與防閃電感應(yīng)的接地裝置相連。室外架空敷設(shè)的特種氣體管道，宜每隔 25m接地一次，其沖擊接地電阻不宜大于10Ω。

8.2.4 特種氣體設(shè)備與管道應(yīng)采取防靜電接地措施，在管道進(jìn)出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分岔處及直管段每隔 30m處應(yīng)設(shè)防靜電接地。

8.2.5 設(shè)備接地端子、管道卡箍或法蘭與接地線之間，可采用螺栓緊固連接;對有振動、位移的設(shè)備和管道，連接處應(yīng)加撓性連接線過渡。

8.2.6 特種氣體系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作接地、保護(hù)接地、防雷接地以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時，接地裝置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定。

8.2.7 防靜電接地為單獨接地時每組接地電阻宜小于100Ω。

-9 公用工程-

9.1 給水排水

9.1.1 布置在特種氣體站房的給排水管道，應(yīng)按照水溫和所在房間的溫度與濕度要求采取隔熱和防結(jié)露措施。

9.1.2 特種氣體站房排出的有害廢水，不應(yīng)直接排至市政管網(wǎng)。

9.1.3 毒性、劇毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間應(yīng)在安全區(qū)域設(shè)置緊急沖身洗眼器。

9.2 消防

9.2.1特種氣體站、特種氣體間室內(nèi)外消防的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》GB 50974 和《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50081的有關(guān)規(guī)定。

9.2.2 特種氣體站、特種氣體間應(yīng)配置手提滅火器，配置應(yīng)滿足現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

9.2.3 特種氣體站、特種氣體間應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)，噴水強度不應(yīng)小于 8L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于160m2，當(dāng)實際站房面積小于160m2時，可按實際面積計算。

9.2.4 特種氣體柜帶有白動噴水冷卻裝置時，在廠房內(nèi)設(shè)置的自動噴水滅火系統(tǒng)應(yīng)為該系統(tǒng)預(yù)留管道和信號閥。

9.2.5 特種氣體站、特種氣體間內(nèi)存儲的特種氣體與水可能發(fā)生劇烈反應(yīng)時，該特種氣體間不得采用水消防系統(tǒng)。

9.2.6 硅烷站的消防系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 發(fā)生硅烷火災(zāi)時，應(yīng)緊急切斷硅烷氣源，在未切斷氣源的情況下，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰；

2 發(fā)生硅烷火災(zāi)時，應(yīng)使用水對鋼瓶、儲罐等進(jìn)行冷卻；

3 不應(yīng)使用鹵代烷類及二氧化碳滅火器；

4 硅烷站應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距大宗鋼瓶46m之內(nèi)。

9.2.7 硅烷站的自動噴水系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷的輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)，雨淋系統(tǒng)可采用手動啟動方式，也可采用自動啟動方式，啟動裝置的位置應(yīng)遠(yuǎn)離存儲硅烷的設(shè)備；

2 雨淋系統(tǒng)設(shè)計的噴水強度不應(yīng)小于12L/(min·m2），火災(zāi)延續(xù)時間不應(yīng)小于 2h；雨淋系統(tǒng)保護(hù)部位應(yīng)包括硅烷鋼瓶瓶身、大宗硅烷儲罐本體；

3 切斷硅烷供應(yīng)系統(tǒng)的同時，啟動雨淋系統(tǒng)；

4 當(dāng)硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r，建筑物本身可采用自動噴水滅火系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù)。設(shè)計噴水強度不應(yīng)小于16L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于260m2，當(dāng)實際站房面積小于260m2時，可按實際面積計算；

5 閉式噴淋系統(tǒng)、雨淋系統(tǒng)應(yīng)獨立設(shè)置報警閥。

9.2.8 存儲、分配和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)。

設(shè)計噴水強度不應(yīng)小于12L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于260m2，當(dāng)實際房間面積小于260m2時，可按實際面積計算。

9.3 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

9.3.1 特氣體站房應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機械通風(fēng)，通風(fēng)量應(yīng)滿足氣瓶柜的排風(fēng)要求，且特種氣體站房通風(fēng)換氣率不應(yīng)低于18m3/(h.m2)。

9.3.2 特種氣體氣瓶柜、閥門箱應(yīng)設(shè)置機械排風(fēng)裝置。

9.3.3 凡屬下列情況之一時，特種氣體站房應(yīng)分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)：

1 兩種或兩種以上的特種氣體混合后能引起燃燒或爆炸時；

2 特種氣體混合后發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成更大危害性或腐蝕性的混合物、化合物時；

3 混合后形成粉塵。

9.3.4 大宗特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計算確定，但房間換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h。事故通風(fēng)應(yīng)與特種氣體站房環(huán)境探測器進(jìn)行聯(lián)鎖，并應(yīng)在特種氣體站房外設(shè)置事故通風(fēng)緊急按鈕。

9.3.5 硅烷氣瓶柜、閥門箱的排風(fēng)量計算應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣瓶柜內(nèi)、閥門箱的硅烷泄漏量應(yīng)按照硅烷限流孔直徑和最大儲存壓力計算：

2 排風(fēng)量應(yīng)滿足氣瓶柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%。

9.3.6 硅烷氣瓶組直接安裝在封閉的房間時，房間排風(fēng)量計算應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 房間內(nèi)的硅烷泄漏量應(yīng)按照硅烷限流孔直徑和最大儲存壓力計算；

2 排風(fēng)量應(yīng)滿足房間內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%。

9.3.7 易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜、閥門箱的排風(fēng)口與主排風(fēng)管道連接的支管應(yīng)采用剛性風(fēng)管。氣瓶柜、閥門箱的排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置防火閥。大宗有毒性氣體容器出口閥門部位應(yīng)設(shè)置抽風(fēng)罩。

9.3.8 特種氣體間排風(fēng)口位置應(yīng)根據(jù)特種氣體特性確定，當(dāng)相對密度小于或等于0.75時，排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在房間上部，當(dāng)相對密度大于0.75 時，排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在房間的下部。

9.3.9 特種氣體設(shè)備排風(fēng)和站房排風(fēng)，應(yīng)根據(jù)排風(fēng)的危害性和濃度設(shè)置處理裝置。

9.3.10 特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機組。特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

9.3.11 特種氣體站房宜設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計參數(shù)應(yīng)滿足氣瓶柜的要求，當(dāng)氣瓶柜無具體要求時，室內(nèi)設(shè)計參數(shù)宜滿足溫度為 23℃±5℃C，濕度為30%～70%的環(huán)境要求；

2不得采用循環(huán)空氣。

9.3.12 空調(diào)風(fēng)管不應(yīng)穿越特種氣體間之間的分隔墻。

9.3.13 空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置備用空調(diào)機組，或采用措施保證在空調(diào)機組維護(hù)或故障時，能滿足特種氣體房間的通風(fēng)要求。

9.3.14 空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置應(yīng)急電源。

9.3.15 特種氣體設(shè)備及站房排風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，保溫應(yīng)采用不燃或難燃材料，腐蝕性特種氣體的排風(fēng)管道應(yīng)采用耐腐蝕材料制作。

9.3.16特種氣體設(shè)備排風(fēng)管道、站房通風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。

9.3.17 特種氣體站房排風(fēng)系統(tǒng)不得與火災(zāi)報警系統(tǒng)聯(lián)動控制；火災(zāi)發(fā)生時，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。

-10 特種氣體系統(tǒng)工程施工-

10.1 一般規(guī)定

10.1.1 特種氣體系統(tǒng)工程施工應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB50235、《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50184、《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB 50236和《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50683 的有關(guān)規(guī)定。

10.1.2 特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管道應(yīng)采用自動軌道氬弧焊機焊接，高純氬氣保護(hù)。

10.1.3 安裝和試驗檢測用計量器具應(yīng)經(jīng)檢驗合格并在有效期內(nèi)使用。

10.1.4 特種氣體系統(tǒng)工程施工前應(yīng)編制專項施工方案，并應(yīng)經(jīng)業(yè)主審批后實施。

10.1.5 主要設(shè)備材料進(jìn)場應(yīng)提供下列文件：

1 產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報告；

2 產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗要求等技術(shù)文件；

3 產(chǎn)品規(guī)格、型號、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

10.1.6 設(shè)備材料進(jìn)場驗收、焊接樣品鑒定時，建設(shè)單位技術(shù)人員應(yīng)在場檢驗確認(rèn)。

10.2 主要設(shè)備、材料進(jìn)場驗收

10.2.1 氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤進(jìn)場驗收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 外包裝上應(yīng)具有防止傾倒、輕放、防雨標(biāo)識、防震標(biāo)識，并應(yīng)完整無損；

2 表面應(yīng)平整光潔、色澤一致、無毛刺、無劃痕、無銹蝕、不起鼓；柜體頂部應(yīng)設(shè)抽風(fēng)口，柜門下方應(yīng)設(shè)可調(diào)節(jié)空氣過濾網(wǎng)進(jìn)風(fēng)口；

3 面板上應(yīng)有氣體的名稱、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險標(biāo)志的標(biāo)識，并應(yīng)有管線、閥體及附件相互連接的系統(tǒng)圖；同時，應(yīng)配有與其對應(yīng)的操作手冊；

4 內(nèi)部引出的管路和閥件接口應(yīng)用專用管帽和堵頭封堵；

5 在運輸過程中盤面內(nèi)應(yīng)保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮氣；

6 閥門、儀表與面板之間應(yīng)有專用閥門支撐件，支撐件材質(zhì)應(yīng)采用不銹鋼；不得將閥門、儀表等直接用螺栓固定在面板上。

10.2.2 尾氣處理裝置進(jìn)場驗收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 尾氣處理裝置進(jìn)場應(yīng)對外觀、外形尺寸、構(gòu)成、接口、銘牌、氣密試驗、閥門動作、信號傳輸?shù)刃阅苓M(jìn)行檢查和核對；

2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應(yīng)符合設(shè)計與合同的要求，隨機資料和專用工具應(yīng)齊全；

3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風(fēng)機、泵、控制盤、酸(堿)儲罐以及連接管路等應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，隨機資料應(yīng)齊全；

4 尾氣處理裝置、風(fēng)機、泵的出廠合格證、性能測試報告，銘牌、標(biāo)識應(yīng)齊全；

5 系統(tǒng)流程圖、控制原理圖、設(shè)備使用說明書應(yīng)齊全。

10.2.3 管道、管件和閥門進(jìn)場驗收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 在非潔凈室全數(shù)目測檢查管道外包裝，不得有破損、變形；

2 檢查合格的管道、管件及閥門搬入潔凈室前，應(yīng)在緩沖間(前室)去除外包裝薄膜；搬入潔凈室后，應(yīng)按種類、規(guī)格分別存放在潔凈室的貨架上，不得直接放在地面上。潔凈室的潔凈度宜優(yōu)于或等于7級(0. 5μm)；

3 進(jìn)場的管道、管件和閥門應(yīng)有產(chǎn)品規(guī)格、型號、合格證、材質(zhì)證明、使用說明書、檢驗報告。

10.2.4 管道、管件和閥門應(yīng)在潔凈室內(nèi)進(jìn)行內(nèi)包裝開封檢查，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管道、管件、閥門應(yīng)有獨立的內(nèi)包裝，端口均應(yīng)裝有防塵帽；

2 管道、管件、閥門檢查后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)包裝及防塵帽；

3 管道外觀檢查應(yīng)按全數(shù)的5%以上抽查，規(guī)格尺寸、壁厚，圓度、端面平整度等應(yīng)符合產(chǎn)品的技術(shù)要求；

4 材質(zhì)檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機抽查5%以上，且不得少于1件，其化學(xué)成分應(yīng)符合材質(zhì)質(zhì)量保證書及相關(guān)要求；

5 管道、管件內(nèi)表面粗糙度應(yīng)采用樣品比較法在管道兩端檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格時應(yīng)加倍抽查；

6 管道內(nèi)壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax應(yīng)滿足設(shè)計文件的要求。

10.3 氣瓶柜與氣瓶架的安裝

10.3.1 氣瓶柜和氣瓶架應(yīng)按設(shè)計要求定位。

10.3.2 氣瓶柜氣瓶架就位找平、找正后，應(yīng)固定牢固。

10.3.3 氣瓶柜和氣瓶架的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5%成列盤面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。

10.3.4 氣瓶柜的安裝應(yīng)確保柜門開關(guān)自如，不得扭曲變形、關(guān)閉不嚴(yán)。

10.4 閥門箱與閥門盤的安裝

10.4.1 閥門箱和閥門盤應(yīng)固定在專用支座上或固定支架固定在梁、柱與墻上，不得將閥門箱直接固定在地面上。

10.4.2 閥門箱和閥門盤的支座宜采用專用鍍鋅型鋼、專用噴塑型鋼或?qū)Ｓ貌讳P鋼型鋼裝配式連接，不宜采用焊接。

10.4.3 閥門箱和閥門盤的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5‰，成列盤面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。

10.4.4 閥門箱與閥門盤就位找平后，應(yīng)固定牢固。

10.4.5 連接閥門與閥門盤、閥門箱的螺栓應(yīng)為不銹鋼螺栓，不得將閥門和管道系統(tǒng)與任何未經(jīng)處理的碳鋼件直接接觸。

10.5 尾氣處理裝置及純化器的安裝

10.5.1 尾氣處理裝置安裝應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《機械設(shè)備安裝工程施工及驗收通用規(guī)范》GB50231的有關(guān)規(guī)定。

10.5.2 尾氣處理裝置的基礎(chǔ)應(yīng)堅固平整，水平度不得大于3‰。

10.5.3 每個系統(tǒng)的管線及閥門都應(yīng)貼上顯著的正確標(biāo)識，閥門應(yīng)開關(guān)靈活，鎖定裝置應(yīng)可靠。

10.5.4 干式尾氣處理裝置及純化器安裝時，應(yīng)防止吸附劑長期接觸空氣。

10.6 特種氣體管道安裝

10.6.1 特種氣體管道下料、預(yù)制應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工作人員應(yīng)穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無塵手套在潔凈室內(nèi)進(jìn)行下料、預(yù)制等各項操作，不得用裸手接觸管口及管道內(nèi)壁；

2 管外徑小于或等于1/2”的管道切割應(yīng)使用不銹鋼管切管器，切割后應(yīng)以平口機處理管口，并應(yīng)用專用倒角器去除管口內(nèi)外毛刺，管口端面應(yīng)垂直、不變形，滿足不加絲自動軌道氬弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；

3 平口機處理管口時應(yīng)將管口向下，并應(yīng)在另一端管口用高純氮氣快速吹掃，不得將剛平口處理的管口向上；

4 管外徑大于1/2"的管道切割應(yīng)采用不銹鋼管潔凈專用切割機，切割時不得使用潤滑油：切口端面應(yīng)垂直、無毛刺、不變形；滿足不加絲自動軌道氬弧焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機切割；

5 管道切管作業(yè)時，應(yīng)分別從兩端管口將高純氮氣或氬氣通入管內(nèi)，并不得損傷管道外壁；

6 管口倒角作業(yè)時，不得損傷管道內(nèi)壁，并不得采用什錦銼對管口進(jìn)行倒角；

7 管道吹掃完畢，應(yīng)使用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上異丙醇或無水乙醇將切割管口清洗干凈，應(yīng)迅速用潔凈防塵帽或潔凈膠帶將管口封堵；

8 切割結(jié)束后，剩余管材應(yīng)以潔凈防塵帽封或潔凈膠帶堵后裝入包裝袋中；

9 管道預(yù)制焊接總長度不應(yīng)超過12m，預(yù)制時應(yīng)放置在專用支座上，支點數(shù)量不得少于4個；管道運輸時每3m長度應(yīng)設(shè)一個支點。

10.6.2特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 按照管道系統(tǒng)單線圖，應(yīng)將規(guī)定尺寸的管段及預(yù)制好的管道有序放在管架上，用專用夾具定位后進(jìn)行預(yù)連接，并應(yīng)通入適量的高純氬氣進(jìn)行保護(hù)；

2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；

3 支架應(yīng)采用機械切割，不得氣割，切割后的端頭應(yīng)倒角并涂環(huán)氧漆后加蓋塑料封頭；

4 當(dāng)采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時，應(yīng)采用樹脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；

5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡；

6 管外徑大于1/2”的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭；管外徑小于或等于1/2”的彎頭可在現(xiàn)場使用專用彎管器揻制，BA級管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的3倍，EP級管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的5倍，公、英制彎管器不應(yīng)混用；

7 不銹鋼管道密封接頭的密封墊片應(yīng)根據(jù)氣體的性質(zhì)采用不銹鋼墊片或鎳墊片，嚴(yán)禁采用非金屬墊片、有劃傷的墊片以及將使用過的墊片，在同一密封面應(yīng)采用一個墊片；

8 特種氣體管道與用氣生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的連接應(yīng)采用不銹鋼管道面密封接頭或自動軌道氬弧焊機焊接，不得采用非金屬軟管；管道穿墻部位應(yīng)設(shè)套管，并應(yīng)以難燃材料填充套管與管道之間的間隙：同時應(yīng)對穿墻部位加以密封。

10.6.3 特種氣體管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 施工單位在工程開工前應(yīng)對參加該工程的焊工進(jìn)行認(rèn)證，并應(yīng)向建設(shè)單位提交管道焊接樣品、焊接合格確認(rèn)單，經(jīng)建設(shè)單位項目技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)后方能進(jìn)行焊接施工，施工單位應(yīng)保留合格的焊接樣品和記錄；

2 應(yīng)使用自動軌道氬弧焊機焊接，所用氬氣純度不得小于99.999%,焊接用氣體應(yīng)加裝可調(diào)節(jié)流量計顯示氣體流量，內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)裝壓力計監(jiān)測管內(nèi)壓力；

3 在正式焊接前、更換焊頭后、更換鎢棒后、改變焊接管徑、焊機電源關(guān)閉重新啟動后都應(yīng)進(jìn)行焊接測試，焊接測試樣品經(jīng)質(zhì)量檢驗員檢查合格并填寫焊接合格確認(rèn)單后方可正式施焊；在結(jié)束焊接前也應(yīng)進(jìn)行焊接測試，并應(yīng)檢查正式施焊后所焊焊接接頭是否合格；

4 焊接前應(yīng)編制焊接工藝規(guī)程和繪制系統(tǒng)的單線圖，單線圖上應(yīng)對焊接接頭進(jìn)行編號，編號應(yīng)與焊接記錄的焊接接頭編號一致；

5 應(yīng)嚴(yán)格按照焊接工藝規(guī)程要求進(jìn)行焊接，焊接過程中應(yīng)做好焊接記錄，焊接接頭處應(yīng)標(biāo)明焊接時間、焊工姓名或焊工鋼印號、焊接接頭編號、介質(zhì)名稱；

6 對接接頭組對時應(yīng)對稱均勻，接頭錯邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接頭的位置彎曲；

7 管外徑大于或等于1"時，焊接前應(yīng)先采用手工氬弧焊機進(jìn)行不加絲對稱點焊預(yù)連接，點焊時管內(nèi)應(yīng)通入高純氬氣進(jìn)行保護(hù)，點焊后應(yīng)對焊點進(jìn)行潔凈處理，并應(yīng)用潔凈膠帶密封焊接接頭；

8 焊機應(yīng)采用專用配電箱，當(dāng)電源電壓不穩(wěn)定時應(yīng)采用自動穩(wěn)壓裝置供電。焊機本體應(yīng)可靠接地；

9 焊接時的保護(hù)氣體流量應(yīng)以做焊接樣品的保護(hù)氣體流量為基準(zhǔn)；施工過程中應(yīng)連續(xù)充氣保護(hù)。施工中斷時可降低充氣流量，但應(yīng)確保管內(nèi)呈正壓；

10 每一個系統(tǒng)焊接完成后，均應(yīng)充高純氣或氮氣正壓保護(hù)；

11 外焊縫寬度應(yīng)為管壁厚度的2.5倍~4.0倍，內(nèi)焊縫寬度不應(yīng)小于外焊縫寬度的2/3倍，焊縫不應(yīng)有裂紋、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有氣孔、夾渣、咬邊等缺陷。焊縫錯邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，管內(nèi)、外焊縫凹、凸起高度不應(yīng)大于管道壁厚的10%。

10.6.4 低蒸汽壓特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第10.6.1條～第10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管路應(yīng)安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路；

2 當(dāng)管道穿越溫差較大區(qū)域時應(yīng)分段加熱。

10.6.5 雙層管特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第 10.6.1條~第 10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

1當(dāng)雙層管焊接施工時，應(yīng)先實施內(nèi)管的焊接，并在焊接接頭處應(yīng)安裝滑套；

2 當(dāng)雙層管焊接外管及滑套時，內(nèi)管和外管都應(yīng)充高純氬氣保護(hù)，宜采用自動軌道氬弧焊機焊接；

3 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗和氦檢漏，確認(rèn)內(nèi)管無泄漏后，方可焊接外管上的滑套；

4 雙層管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門箱的外層套管不得全部相通。

10.7 特種氣體管道改擴建工程施工

10.7.1 改建、擴建、拆除特種氣體管道工程的施工應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 施工單位在開工前應(yīng)編制施工方案;內(nèi)容應(yīng)包含重點部位、作業(yè)過程注意事項，危險作業(yè)過程的監(jiān)控，應(yīng)急預(yù)案，緊急聯(lián)系電話和專門負(fù)責(zé)人，對潛在的危險應(yīng)向施工人員進(jìn)行詳盡的技術(shù)交底；

2 生產(chǎn)區(qū)與施工區(qū)之間應(yīng)采取臨時隔離措施及設(shè)置危險警示標(biāo)志，施工人員不得進(jìn)入與施工無關(guān)的區(qū)域；

3 施工現(xiàn)場應(yīng)有業(yè)主和施工方的技術(shù)人員在場，閥門的開關(guān)動作、電氣開關(guān)動作、氣體置換操作等都應(yīng)由專人在業(yè)主技術(shù)人員的指導(dǎo)下完成，未經(jīng)許可，不得操作；切割改造工作時應(yīng)提前在被切割管道全線和切割處明顯標(biāo)識，標(biāo)識管道現(xiàn)場需得到業(yè)主和施工方的技術(shù)人員確認(rèn)。

10.7.2 施工前應(yīng)將管道內(nèi)的特種氣體用高純氮氣完全置換，被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置處理，達(dá)標(biāo)后排放。

10.7.3 施工完畢、測試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)內(nèi)充入0.1MPa(表壓)的高純氮氣。

-11 特種氣體系統(tǒng)工程驗收-

11.1 一般規(guī)定

11.1.1 特種氣體系統(tǒng)驗收應(yīng)包括設(shè)備驗收、管路系統(tǒng)驗收和氣體探測(監(jiān)控)系統(tǒng)驗收等。

11.1.2 特種氣體系統(tǒng)的驗收應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50184 和《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB 50235的有關(guān)規(guī)定。

11.2 設(shè)備驗收

11.2.1 設(shè)備驗收應(yīng)按照設(shè)備工藝流程圖、配置表以及鋼瓶容器接口形式、使用壓力等級等參數(shù)對設(shè)備內(nèi)部的管路流程、各部件的選型和安裝等進(jìn)行檢驗。

11.2.2 設(shè)備驗收應(yīng)檢查設(shè)備出廠的測試檢驗報告，設(shè)備定位安裝后宜對盤面再次進(jìn)行壓力、氨檢漏測試。

11.2.3 設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供合格的現(xiàn)場設(shè)備功能調(diào)試報告與操作手冊，監(jiān)控部件的功能、參數(shù)設(shè)置和聯(lián)鎖、聯(lián)動作用等應(yīng)符合設(shè)計要求。

11.2.4 安裝在防爆區(qū)域內(nèi)的設(shè)備，其電器部件應(yīng)符合相關(guān)防爆要求。

11.2.5 尾氣處理設(shè)備的驗收應(yīng)包括外觀檢查，工藝流程檢驗，設(shè)備部件功能測試，設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供合格的現(xiàn)場設(shè)備功能調(diào)試報告與操作手冊。

11.3 管路與系統(tǒng)驗收

11.3.1 管路安裝完成后應(yīng)首先進(jìn)行包括管件的安裝位置和方向，彎頭揻制，焊接質(zhì)量的外觀檢查。

11.3.2 管路外觀檢查合格后，應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行壓力，氦檢漏，顆粒，水分，氧分等5項測試，測試合格后應(yīng)提交相應(yīng)測試報告并得到相關(guān)人員的簽字認(rèn)可。

11.3.3 管路及系統(tǒng)驗收應(yīng)檢查其組成部件的質(zhì)量文件，施工過程中的焊樣、焊接日志應(yīng)完整并具有可追溯性。

11.3.4 系統(tǒng)驗收前應(yīng)先確定現(xiàn)場所有缺失項都已整改完成并得到相關(guān)人員簽字確認(rèn)，所有竣工文件資料都已提交相關(guān)部門。文件的檢驗應(yīng)包括但不僅限于竣工圖紙，最終技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，報審、報驗報告，焊接日志，測試、調(diào)試報告，操作說明書。

11.4 氣體探測(監(jiān)控)系統(tǒng)驗收

11.4.1 特種氣體探測器安裝完成后，應(yīng)檢查探測器的數(shù)量、類型、標(biāo)定時間、報警設(shè)定和安裝位置、取樣管長度、排放管排放位置、電源信號接線，出廠質(zhì)量文件等內(nèi)容。

11.4.2 根據(jù)控制邏輯圖，應(yīng)對探測器的報警和切斷輸出信號進(jìn)行點對點模擬測試，并應(yīng)保證聯(lián)動控制和聲光報警正確動作。

11.4.3 監(jiān)控系統(tǒng)的驗收應(yīng)檢查包括電腦內(nèi)存和硬盤容量、CPU選型、控制箱面板、輸入輸出設(shè)備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等設(shè)施應(yīng)符合設(shè)計文件的規(guī)定。

11.4.4 測試軟件系統(tǒng)圖形應(yīng)與實際系統(tǒng)應(yīng)一致，系統(tǒng)內(nèi)的各項設(shè)置應(yīng)符合設(shè)計要求。

-附錄-

附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法

A.0.1 順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

A.0.2 內(nèi)向檢漏法(噴氦法)應(yīng)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.3 閥座檢漏法應(yīng)采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.4 外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.5 氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1X10-10mbar·L/s。

A.0.6 特種氣體系統(tǒng)氫檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1X10-9mbar·L/s;

2 閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1X10-6mbar·L/s;

3外向測漏法測定的泄漏率不得大于1X10-6mbar·L/s。

A.0.7 氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗合格后，然后按規(guī)定再進(jìn)行氨檢漏。

A.0.8 所有可能泄漏點應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。

A.0.9 系統(tǒng)測試完畢，應(yīng)充入高純氮氣或氣，并應(yīng)進(jìn)行吹掃。

A.0.10 測試完畢后，應(yīng)提交測試報告。

附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體）

表B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)

- 說明 -

本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明

1 為便于在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)條文時區(qū)別對待，對要求嚴(yán)格程度不同的用詞說明如下：

1) 表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的：

正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”；

2) 表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：

正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”；

3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應(yīng)這樣做的：

正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；

4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。

2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)符合….的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄

《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016

《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范GB 50057

《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058

《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50081

《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140

《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50184

《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222

《機械設(shè)備安裝工程施工及驗收通用規(guī)范》GB 50231

《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB 50235

《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB 50236

《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB 50316

《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB 50683

《消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》GB 50974

《流體輸送用不銹鋼無縫鋼管》GB/T 14976

《危險化學(xué)品重大危險源辨識》GB 18218

《化工裝置工藝系統(tǒng)工程設(shè)計技術(shù)規(guī)定》HG/T 20570