原子發(fā)射光譜
原子發(fā)射光譜是一種利用受激發(fā)氣態(tài)原子或離子所發(fā)射的特征光譜來測定待測物質(zhì)中元素組成和含量的方法。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜（ICP-OES）
電感耦合等離子體焰矩溫度可達6000~8000K，當(dāng)將試樣由進樣器引入霧化器，并被氬載氣帶入焰矩時，試樣中組分被原子化、電離、激發(fā)，以光的形式發(fā)射出能量。不同元素的原子在激發(fā)或電離時，發(fā)射不同波長的特征光譜，故根據(jù)特征光的波長可進行定性分析；元素的含量不同時，發(fā)射特征光的強弱也不同，據(jù)此可進行定量分析。
工作氣 | 吹掃氣 | 被測物質(zhì) | 分析范圍 | 關(guān)鍵雜質(zhì) |
從鋰到鈾的元素 | μg/L (ppb) - g/L | 水，氧 |
電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）
在氬氣等離子體中電離樣品并激發(fā)離子 ,測量產(chǎn)生的離子的質(zhì)量。
工作氣 | 被測物質(zhì) | 分析范圍 | 關(guān)鍵雜質(zhì) |
氬氣 | 從鋰到鈾的元素 | mg/L- ng/L(ppt) | 水，氧 |
X射線熒光光譜儀(XRF)
利用初級X射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測樣品中的原子，使之產(chǎn)生熒光(次級X射線)而進行物質(zhì)成分分析和化學(xué)形態(tài)研究。
工作氣 | 被測物質(zhì) | 分析范圍 | 關(guān)鍵雜質(zhì) |
氬甲烷混合氣 | 從鈉到鈾的元素 | % - ppb | 水、氧、碳氫化合物 |
化學(xué)發(fā)光檢測器（CLD）
在NO模式，當(dāng)氣樣中的NO和O3（臭氧）反應(yīng)生成NO2時，大約有10%的NO2處于激化狀態(tài)（以NO2表示）。這些激態(tài)分子向基態(tài)過渡時，發(fā)射出波長590～2500nm的光量子hv，其強度與NO量成正比，利用光電倍增管將這一光能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘栞敵隹赏扑愠鯪O濃度。
在NOx模式，樣氣首先進入NOx轉(zhuǎn)換裝置，樣氣中的NOx包括NO和NO2，其中的NO2在此轉(zhuǎn)換成NO，全部的NO經(jīng)反應(yīng)、檢測，輸出一個正比于NOx的直流電流，數(shù)字面板表顯示NOx的濃度。
零氣 | 工作氣 | 標(biāo)準氣體 | 被測物質(zhì) | 分析范圍 | 關(guān)鍵雜質(zhì) |
氮氣 | 氧氣或空氣 | 氮中一氧化氮 | NO, NO2, NOx | 0.1% - ppm | N2, NOx |
紫外熒光光譜儀（UVF）
當(dāng)紫外光射過待測氣體時，氣體中濃度很低的SO2分子受紫外光的激發(fā)成為激發(fā)態(tài)，分子在返回基態(tài)的過程中發(fā)射出熒光。在測量氣室的上方，通過石英凸透鏡收集熒光并使其穿過窄帶干涉濾光片，被光電倍增管接收。電機的轉(zhuǎn)動使兩個濾光片交替透射熒光，在間隔很短的時間產(chǎn)生兩個采樣波段不同的熒光電信號，這兩個信號通過信號處理系統(tǒng)的放大，運算，最后轉(zhuǎn)換成二氧化硫的濃度顯示出來。
零氣 | 吹掃氣 | 標(biāo)準氣體 | 被測物質(zhì) | 分析范圍 | 關(guān)鍵雜質(zhì) |
氮氣 | 氮氣 | 氮中二氧化硫 | SO2 | 100 - 0.1 ppm | SO2 |
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